乙硼烷混氮?dú)?/div>
乙硼烷/氮?dú)?/font>混合氣 B2H6/N2 Mixture
Components （組分）
Content(含量)
B2H6, 5N
≥0.1%
N2，6N
Balance （平衡氣）
組分 Components
規(guī)格 Specification
乙硼烷Diborane（B2H6）5N
99.999%
氧 Oxygen (O2)
≤0.5 ppmv
二氧化碳 Carbon Dioxide (CO2)
≤2 ppmv
甲烷 Methane (CH4)
≤4 ppmv
氫 Hydrogen (H2)
≤100 ppmv
三氟化硼 Boron Trifluoride（BF3）
≤50 ppmv
Teraborane(B4H10)
≤180 ppmv
Pentaborane(B5H9）
≤10 ppmv
Pentaborane（B5H11）
≤10 ppmv
Hexaborane（B6H10）
≤10 ppmv
氮?dú)?/font>Nitrogen（N2）6N
99.9999%
水Water(H20)
≤0.5 ppmv
氧+氬 Oxygen+Argon (O2+Ar)
≤0.5 ppmv
甲烷Methane (CH4)
≤0.1 ppmv
氫Hydrogen (H2)
≤0.1 ppmv
一氧化碳 Carbon Monoxide （CO）
≤0.1 ppmv
二氧化碳 Carbon Dioxide (CO2)
≤0.1 ppmv
包裝規(guī)格
氣瓶大小 Cylinder Size
47L
充裝量 Fill Weight (kgs)
100Bar
閥門 Valve Connection
CGA350/DISS632
尺寸 Cylinder Dimensions(cm)
23x140
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乙硼烷/氮?dú)?/font>混合氣 B2H6/N2 Mixture |
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Components （組分） |
Content(含量) |
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B2H6, 5N |
≥0.1% |
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N2，6N |
Balance （平衡氣） |
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組分 Components |
規(guī)格 Specification |
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乙硼烷Diborane（B2H6）5N |
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氧 Oxygen (O2) |
≤0.5 ppmv |
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二氧化碳 Carbon Dioxide (CO2) |
≤2 ppmv |
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甲烷 Methane (CH4) |
≤4 ppmv |
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氫 Hydrogen (H2) |
≤100 ppmv |
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三氟化硼 Boron Trifluoride（BF3） |
≤50 ppmv |
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Teraborane(B4H10) |
≤180 ppmv |
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Pentaborane(B5H9） |
≤10 ppmv |
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Pentaborane（B5H11） |
≤10 ppmv |
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Hexaborane（B6H10） |
≤10 ppmv |
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氮?dú)?/font>Nitrogen（N2）6N |
99.9999% |
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水Water(H20) |
≤0.5 ppmv |
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氧+氬 Oxygen+Argon (O2+Ar) |
≤0.5 ppmv |
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甲烷Methane (CH4) |
≤0.1 ppmv |
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氫Hydrogen (H2) |
≤0.1 ppmv |
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一氧化碳 Carbon Monoxide （CO） |
≤0.1 ppmv |
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二氧化碳 Carbon Dioxide (CO2) |
≤0.1 ppmv |
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包裝規(guī)格 |
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氣瓶大小 Cylinder Size |
47L |
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充裝量 Fill Weight (kgs) |
100Bar |
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閥門 Valve Connection |
CGA350/DISS632 |
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尺寸 Cylinder Dimensions(cm) |
23x140 |
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