乙硼烷/氦氣混合氣 B2H6/He Mixture

Components （組分）

Content(含量)

B2H6, 5N

≥0.1%

He，6N

Balance （平衡氣）

組分 Components

規(guī)格Specification

乙硼烷 Diborane（B2H6）5N

99.999%

氮 Nitrogen (N2)

≤2 ppmv

氧 Oxygen (O2)

≤0.5 ppmv

二氧化碳 Carbon Dioxide (CO2)

≤2 ppmv

甲烷 Methane (CH4)

≤4 ppmv

氫Hydrogen (H2)

≤100 ppmv

三氟化硼 Boron Trifluoride（BF3）

≤50 ppmv

Teraborane(B4H10)

≤180 ppmv

Pentaborane(B5H9）

≤10 ppmv

Pentaborane（B5H11）

≤10 ppmv

Hexaborane（B6H10）

≤10 ppmv

氦氣 Helium（He）6N 

99.9999%

水 Water(H20)

≤0.5ppmv

氧 Oxygen (O2)

≤0.5 ppmv

氮 Nitrogen (N2)

≤0.5 ppmvv

甲烷 Methane (CH4)

≤0.1 ppmv

一氧化碳Carbon Monoxide （CO）

≤0.1 ppmv

二氧化碳Carbon Dioxide (CO2)

≤0.1 ppmv

包裝規(guī)格

氣瓶大小 Cylinder Size

47L

充裝量 Fill Weight (kgs)

100Bar

閥門(mén) Valve Connection

CGA350/DISS632

尺寸 Cylinder Dimensions(cm)

23x140