三氟化硼（硼11）
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三氟化硼（11）Boron Trifluoride 4.5N |
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Components （組分） |
Specification規格 |
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Boron Trifluoride（BF3)三氟化硼 |
≥ 99.995% |
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Nitrogen（N2）氮氣 |
≤ 10ppmv |
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Oxygen（O2）氧氣 |
≤ 5ppmv |
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Carbon Monoxide（CO）一氧化碳 |
≤ 1ppmv |
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Carbon Dioxide（CO2）二氧化碳 |
≤ 5ppmv |
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Methane（CH4）甲烷 |
≤ 1ppmv |
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Moisture(H2O）水 |
≤ 1ppmv |
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Sulfur Dioxide （SO2）二氧化硫 |
≤ 1ppmv |
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Hydrogen Fluoride（HF）氟化氫 |
≤ 1ppmv |
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Silicon Tetrafluoride（SiF4）四氟化硅 |
≤ 5ppmv |
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11B Isotopic Concentration豐度 |
≥ 99.7% |
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包裝規格 |
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氣瓶大小 Cylinder Size |
47L |
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充裝量 Fill Weight (kgs) |
20 |
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尺寸 Cylinder Dimensions(cm) |
Ф23×140 |
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閥門 Valve Connection |
CGA330 |
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保質期 Shelf Life |
2year |